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申请/专利权人：中建材(株洲)光电材料有限公司;邯郸中建材光电材料有限公司

申请日：2024-09-13

公开（公告）日：2025-01-14

公开（公告）号：CN119307859A

专利技术分类：..真空蒸发[2006.01]

专利摘要：本发明公开了一种基于近空间升华沉积系统的余料检测装置及方法，包括激光测距设备、数据处理设备和升华沉积设备；装置工作时，激光测距设备向升华沉积设备发出激光，激光束会在升华沉积设备内放置的物料上表面进行反射，通过接收此反射光束并进行相关计算以得到需要的距离信息；激光测距设备将得到的距离信息通过通信端发送到数据处理设备，数据处理设备对接收到的距离信息进行处理并将处理结果可视化展示，工作人员在使用本装置时即可通过数据处理设备显示出的剩余高度得知坩埚内物料的剩余情况，以此实现对坩埚内物料的余量检测和监控，避免出现物料浪费或生产中断等问题。

专利权项：1.一种基于近空间升华沉积系统的余料检测装置，其特征在于，包括激光测距设备、数据处理设备和升华沉积设备；所述升华沉积设备包括坩埚，其中，所述坩埚内存储有物料，且所述坩埚上设置有激光入射口；所述激光测距设备通信连接所述数据处理设备，用于在近空间升华沉积系统每完成至少一个待处理工件的薄膜制备后，向所述坩埚上的激光入射口发射激光，以在每完成至少一个待处理工件的薄膜制备后，得到对应的第一距离信息，并将若干第一距离信息，发送至数据处理设备，任一第一距离信息用于表征激光测距设备的激光发生端与所述坩埚内的物料的上表面之间的距离；所述数据处理设备用于获取第一初始距离信息和第二初始距离信息，并根据所述第一初始距离信息、所述第二初始距离信息和若干第一距离信息，确定出近空间升华沉积系统在每完成至少一个待处理工件的薄膜制备后，所述坩埚内物料的剩余高度，并将剩余高度进行可视化展示，其中，所述第一初始距离信息用于表征所述激光测距设备的激光发生端与所述坩埚内底部之间的距离；所述第二初始距离信息用于表征在未进入工作过程时，所述激光测距设备的激光发生端与所述坩埚内的物料的上表面之间的距离。

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