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申请/专利权人：湖南蓝芯微电子科技有限公司
申请日：2024-04-18
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN222362189U
专利技术分类：..反应室；其所用材料的选择[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种石墨基板的化学气象沉积装置，它属于LED半导体技术领域，其通过在载盘主体背面设置凹陷圆环，利用空气导热比石墨导热差的原理，能使外延片与多个突起接触位置的温度与外延片中间温度接近，使波长均匀性更佳。它主要包括载盘主体，载盘主体上设有若干衬底放置口，所述衬底放置口呈环形布置于载盘主体上，所述衬底放置口内设有若干支撑块，所述若干衬底放置口背面的载盘主体上设有与若干衬底放置口相对应的凹陷圆环。本实用新型主要用于石墨基板的化学气象沉积。
专利权项：1.一种石墨基板的化学气象沉积装置，包括载盘主体3，载盘主体3上设有若干衬底放置口1，其特征在于：所述衬底放置口1呈环形布置于载盘主体3上，所述衬底放置口1内设有若干支撑块2，所述若干衬底放置口1背面的载盘主体3上设有与若干衬底放置口1相对应的凹陷圆环4。
百度查询： 湖南蓝芯微电子科技有限公司 石墨基板的化学气象沉积装置
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