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申请/专利权人：华为技术有限公司
申请日：2023-07-17
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119322390A
专利技术分类：...基本光学元件，例如，传导光的光路[2006.01]
专利摘要：本申请提供了平面光波导、平面光波导的制造方法、光芯片和光通信设备，该平面光波导结构包括从下至上依次设置的：芯层，包括波导结构；包覆层，包覆芯层，包覆层的折射率与芯层不同；其中，包覆层内部设置有至少一道刻线，在衬底上，刻线的投影与波导结构中的波导的投影平行。即通过在波导的至少一侧设置刻线，以对芯层中的波导形成挤压，从而平衡平行于衬底的方向和垂直于衬底的方向的应力，降低双折射，提高器件性能。
专利权项：1.一种平面光波导，其特征在于，在衬底上，包括从下至上依次设置的：芯层，包括波导结构；包覆层，包覆所述芯层，所述包覆层的折射率与所述芯层不同；其中，所述包覆层内部设置有至少一道刻线，在所述衬底上，所述刻线的投影与所述波导结构中的波导的投影平行，并且所述刻线的投影与所述波导的投影具有间距。
百度查询： 华为技术有限公司 一种平面光波导、制造方法和光芯片
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