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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2023-07-13
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119325581A
专利技术分类：..全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）[2006.01]
专利摘要：一个实施例涉及一种对经受由设备执行的过程的产品单元进行分类的方法，所述方法包括：接收KPI数据，所述KPI数据与所述设备的多个部件相关联且包括与多个KPI相关联的数据；对所述KPI数据聚类成簇以识别多个簇；分析所述多个簇以识别与所述设备相关联的多个故障模式，针对每个所识别的故障模式，将阈值指派给与所述故障模式相关联的每个KPI；以及针对所述多个产品单元中的每个产品单元：基于所述产品单元的KPI数据和指派给与所述多个故障模式中的一个故障模式相关联的每个KPI的所述阈值来确定所述多个故障模式中的每个故障模式的可能性；以及基于所述多个故障模式中的每个故障模式的所述可能性来执行分类。
专利权项：1.一种确定包括KPI阈值的分类模型的计算机实施方法，所述分类模型用于对经受由设备执行的过程的产品单元进行分类，所述方法包括：接收作为多个产品单元经受所述过程的结果而获得的KPI数据，所述KPI数据与所述设备的多个部件相关联且包括与多个KPI相关联的数据；将所述KPI数据聚类成簇以识别至少一个簇；分析所述至少一个簇以识别与所述设备相关联的多个故障模式，其中，所述分析包括针对所述至少一个簇中的一个或更多个簇，识别与产品单元的故障相关的多个KPI数据子组，所述多个KPI数据子组中的每个子组与所述多个故障模式中的一故障模式相关联；以及通过针对每个所识别的故障模式将阈值指派给与所述故障模式相关联的每个KPI来确定所述分类模型。
百度查询： ASML荷兰有限公司 分类产品单元
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