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申请/专利权人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院;国家纳米科学中心
申请日：2023-07-19
公开（公告）日：2025-01-21
公开（公告）号：CN119332226A
专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]
专利摘要：本申请提供了单壁碳管膜的制备方法、单壁碳管膜及霍尔器件，制备方法包括以下步骤：提供化学气相沉积设备，化学气相沉积设备设有相通的第一温区、第二温区和第三温区，第一温区的温度低于第二温区的温度，第二温区的温度高于第三温区的温度；将催化剂放置于第一温区进行加热处理，催化剂挥发，向第一温区通入载气和气体碳源，挥发的催化剂、载气与气体碳源形成混合气体；混合气体流动至第二温区，混合气体中的催化剂和气体碳源在第二温区发生反应，生成单壁碳管；将底衬放置于第三温区，生成的单壁碳管随着载气的气流流动至第三温区，在底衬的表面沉积形成单壁碳管膜。设置三个温区制备单壁碳管膜，可有效提高单壁碳管膜的质量。
专利权项：1.一种单壁碳管膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：提供化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备设有相通的第一温区、第二温区和第三温区，所述第一温区的温度低于所述第二温区的温度，所述第二温区的温度高于所述第三温区的温度；将催化剂放置于第一温区进行加热处理，所述催化剂挥发，向所述第一温区通入载气和气体碳源，挥发的所述催化剂、所述载气与所述气体碳源形成混合气体；所述混合气体流动至第二温区，生成单壁碳管；将底衬放置于所述第三温区在所述底衬的表面沉积形成单壁碳管膜。
百度查询： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 国家纳米科学中心 单壁碳管膜的制备方法、单壁碳管膜及霍尔器件
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