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半导体结构、存储单元及其制备方法、存储器及电子设备专利

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申请/专利权人:北京超弦存储器研究院

申请日:2023-07-20

公开(公告)日:2025-01-21

公开(公告)号:CN119342808A

专利技术分类:

专利摘要:本公开涉及一种半导体结构、存储单元及其制备方法、存储器及电子设备,半导体结构包括有源柱、第一栅极和第二栅极;有源柱位于衬底内且沿垂直于衬底的方向延伸;有源柱的顶面具有沿其轴线方向向有源柱的底面延伸的第一容置孔;第一栅极填充第一容置孔;第二栅极位于有源柱的外侧壁。能够增强栅控能力,提升存储密度。

专利权项:1.一种半导体结构,其特征在于,包括:有源柱,位于衬底内且沿垂直于所述衬底的方向延伸;所述有源柱的顶面具有沿其轴线方向向底面延伸的第一容置孔;第一栅极,填充所述第一容置孔;第二栅极,位于所述有源柱的外侧壁。

百度查询: 北京超弦存储器研究院 半导体结构、存储单元及其制备方法、存储器及电子设备

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