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一种带有应变层的半导体激光器结构专利

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申请/专利权人:无锡市华辰芯光半导体科技有限公司

申请日:2024-12-04

公开(公告)日:2025-01-21

公开(公告)号:CN119340786A

专利技术分类:.用于控制光波导的半导体的结构或形状[2006.01]

专利摘要:本申请涉及半导体技术领域,具体公开了一种带有应变层的半导体激光器结构,包括外延结构层和衬底,外延结构层包括缓冲层,缓冲层的材料为砷化镓,缓冲层远离衬底的一侧设有应变层,应变层的材料为AlxGa1‑xInyP,其中,0x1,0y0.48。本申请具有改善激光器外延结构压应力大,导致翘曲严重的缺陷的效果。

专利权项:1.一种带有应变层的半导体激光器结构,包括外延结构层和衬底9,其特征在于:所述外延结构层包括缓冲层8,所述缓冲层8的材料为砷化镓,所述缓冲层8远离衬底9的一侧设有应变层7,所述应变层7的材料为AlxGa1-xInyP,其中,0x1,0y0.48。

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