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申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司
申请日：2019-05-07
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119361468A
专利技术分类：.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种高效率晶圆安装机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上；两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座左右两侧，且两个所述摆臂能分别上下移动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。
专利权项：1.一种高效率晶圆安装机构，其特征在于，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座的左右两侧，且两个所述摆臂位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座能带动两个所述摆臂转动；且两个所述摆臂能分别上下滑动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口；两个所述摆臂分别连接在两个连接座上，所述旋转座的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨，各所述第一导轨上均滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在相对应的所述连接座上；所述基座的下端设有两个支座，所述旋转座位于两个所述支座之间；两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环，两个所述半圆形上下转环分别环绕在所述旋转座的左右两侧，各所述半圆形上下转环均具有半圆形滑道；两个所述连接座上均连接有支撑块，两个所述支撑块上均转动连接有滚轮，两个所述滚轮分别在相对应的所述半圆形滑道内滚动；所述基座的两侧分别连接有镜头筒，所述镜头筒的下端连接有环形灯，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。
百度查询： 江苏新智达新能源设备有限公司 高效率晶圆安装机构
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