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申请/专利权人：长鑫科技集团股份有限公司
申请日：2023-07-13
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119354154A
专利技术分类：
专利摘要：本公开提供了一种检测装置及检测方法，涉及半导体技术领域。该检测装置包括激光传感器和液体摆。激光传感器具有位于机械臂的相对两侧的发射端和接收端，发射端和接收端被配置成在竖直方向滑动以及沿水平轴线转动，以使发射端发射的光线被接收端接收。液体摆与接收端固定连接，被配置成与接收端同步滑动和同步转动。从第一位置调整发射端和接收端在竖直方向的高度，同步转动发射端和接收端到第二位置，根据液体摆在第二位置的显示角度，判断机械臂的承载面的水平度，在第一位置，液体摆为绝对平衡状态，在第二位置，发射端发射的光线与机械臂的承载面平行。本公开提供的检测装置提高了机械臂的承载面相对加热装置表面的水平度检测的精准度。
专利权项：1.一种检测装置，用于检测进入到反应室内承载晶片的机械臂相对加热装置表面的水平度，其特征在于，所述检测装置包括：激光传感器，具有位于所述机械臂的相对两侧的发射端和接收端，所述发射端和接收端被配置成在竖直方向滑动以及沿水平轴线转动，以使所述发射端发射的光线被所述接收端接收；液体摆，与所述接收端固定连接，被配置成与所述接收端在竖直方向同步滑动和同步转动；其中，从第一位置调整所述发射端和所述接收端在竖直方向的高度，以及同步转动所述发射端和所述接收端到第二位置，根据所述液体摆在所述第二位置的显示角度，判断所述机械臂的承载面的水平度，在所述第一位置，所述液体摆为绝对平衡状态，在所述第二位置，所述发射端发射的光线与所述机械臂的承载面平行。
百度查询： 长鑫科技集团股份有限公司 检测装置及检测方法
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