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申请/专利权人：浚辅科技股份有限公司
申请日：2023-07-27
公开（公告）日：2025-01-28
公开（公告）号：CN119381321A
专利技术分类：..用于定位、定向或对准的[2006.01]
专利摘要：本发明为有关一种机械手臂自动补正装置及其方法，主要结构包括机械手臂，机械手臂上设有光学摄影机构，机械手臂的一侧设有晶圆存放机构，晶圆存放机构上则设有图像资讯码，光学摄影机构信息连接有光学辨识模组，光学辨识模组内具有资讯码解析单元、物距解析单元、及晶圆中心解析单元。借此，使用者能先通过光学摄影机构拍摄图像资讯码，来进行机械手臂第一次的位置补正动作，再让光学摄影机构拍摄晶圆并进行对焦动作，利用物距解析单元配合晶圆中心解析单元，计算出机械手臂与晶圆中心点的距离，以达到第二次补正的效果。借此通过此种方式达到快速准确的补正动作。
专利权项：1.一种机械手臂自动补正装置，其特征在于，主要包含：机械手臂；晶圆存放机构，所述晶圆存放机构设于所述机械手臂的一侧；图像资讯码，所述图像资讯码设于所述晶圆存放机构上；光学摄影机构，所述光学摄影机构设于所述机械手臂上；光学辨识模组，所述光学辨识模组信息连接所述光学摄影机构及所述机械手臂；资讯码解析单元，所述资讯码解析单元设于所述光学辨识模组内，可以解析所述图像资讯码，以取得相关位置信息；物距解析单元，所述物距解析单元设于所述光学辨识模组内并与所述资讯码解析单元信息连接，所述物距解析单元通过所述光学摄影机构内透镜的焦距、及透镜与所述光学摄影机构内的感光成像位置之间的距离，计算出所述光学摄影机构与所述晶圆存放机构内的晶圆的晶圆距离；及晶圆中心解析单元，所述晶圆中心解析单元设于所述光学辨识模组内并与所述资讯码解析单元信息连接，以通过所述机械手臂与所述光学摄影机构之间的距离、晶圆距离、及晶圆的宽度，计算出所述机械手臂与晶圆中心点的距离。
百度查询： 浚辅科技股份有限公司 机械手臂自动补正装置及其方法
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