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申请/专利权人：深圳市石金科技股份有限公司
申请日：2024-12-31
公开（公告）日：2025-01-28
公开（公告）号：CN119381307A
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种间距可调的硅片花篮，涉及硅片花篮技术领域，包括花篮端板和花篮支块，所述花篮端板设置有两个，所述花篮支块设置于两个花篮端板之间，任意一个花篮端板上固定设置有控制装置，所述花篮端板上固定设置有提手，间距可调的硅片花篮还包括开设在花篮支块上的内置槽和调距槽以及设置于任意一个花篮端板上的驱动机构、设置于所述驱动机构上的传动部以及设置于所述内置槽内的承载机构。本装置通过驱动机构、传动部和承载机构间的配合，从而使得本装置能够对花篮支块上各个硅片载块间的间距进行调节，从而使得装载在本装置上的硅片能够适用于不同工艺条件下对硅片间距的需求，从而极大的提高了本装置的适用性。
专利权项：1.一种间距可调的硅片花篮，包括花篮端板（1）和花篮支块（2），所述花篮端板（1）设置有两个，所述花篮支块（2）设置于两个花篮端板（1）之间，所述花篮支块（2）设置有多个，且多个花篮支块（2）的两端均与相邻的花篮端板（1）固定连接，其特征在于，任意一个花篮端板（1）上固定设置有控制装置（3），所述花篮端板（1）上固定设置有提手（4），间距可调的硅片花篮还包括：内置槽（5），开设于所述花篮支块（2）内；调距槽（6），开设于所述花篮支块（2）的表面，且各个花篮支块（2）上的调距槽（6）与花篮支块（2）内的内置槽（5）连通；驱动机构，设置于任意一个花篮端板（1）上，所述驱动机构与所述控制装置（3）电连接；传动部，设置于所述驱动机构上，所述传动部用于传递驱动机构的动力；承载机构，设置于所述内置槽（5）内，所述承载机构用于承载硅片。
百度查询： 深圳市石金科技股份有限公司 一种间距可调的硅片花篮
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