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申请/专利权人：巴斯夫欧洲公司
申请日：2023-07-03
公开（公告）日：2025-02-21
公开（公告）号：CN119497761A
专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]
专利摘要：本发明属于用于在基材上制备含过渡金属的膜的方法、特别是原子层沉积方法的领域。本发明涉及一种用于在基材上制备含过渡金属的膜的方法，该方法包括a通过重复使该基材与呈气态的含过渡金属的化合物和有机酸接触来形成有机‑无机杂化膜，其中该有机酸是草酸、乙醛酸或乙醇酸，以及b通过热处理使该有机‑无机杂化膜分解成含过渡金属的膜。
专利权项：1.一种用于在基材上制备含过渡金属的膜的方法，该方法包括a通过重复使该基材与呈气态的含过渡金属的化合物和有机酸接触来形成有机-无机杂化膜，其中该有机酸是草酸、乙醛酸或乙醇酸，以及b通过热处理使该有机-无机杂化膜分解成含过渡金属的膜。
百度查询： 巴斯夫欧洲公司 制备含过渡金属的膜的方法
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