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龙图腾网恭喜上海升翕光电科技有限公司申请的专利成膜装置及真空蒸镀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221956180U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420500066.6，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型成膜装置及真空蒸镀机是由鲁俊瑞;文炯敦;姜汉默;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本成膜装置及真空蒸镀机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种成膜装置及真空蒸镀机，涉及真空蒸镀技术领域。成膜装置包括蒸镀腔体、基板、掩模版、推动件和吸附部件；基板和掩模版可活动设置在蒸镀腔体内，掩模版在成膜装置的高度方向上与基板的成膜面相对设置；推动件可活动设置在蒸镀腔体内，推动件可压在基板在成膜装置的长度方向的两端；吸附部件可活动设置在蒸镀腔体内，吸附部件可吸附基板背离成膜面一侧的表面。通过推动件在成膜装置的高度方向上压在基板在成膜装置的长度方向的两端，吸附部件吸附基板背离成膜面一侧的表面，可以减小基板的中间部分下垂，从而在基板和掩模版的对位过程中发生的误差减小，进而可以提高OLED的产品良率。

本实用新型成膜装置及真空蒸镀机在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，包括蒸镀腔体、基板、掩模版、推动件和吸附部件；所述基板和所述掩模版可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述掩模版在所述成膜装置的高度方向上与所述基板的成膜面相对设置；所述推动件可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述推动件可压在所述基板在成膜装置的长度方向的两端；所述吸附部件可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述吸附部件可吸附所述基板背离所述成膜面一侧的表面。

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