恭喜ASML荷兰有限公司彼得-詹·范兹沃勒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于制造隔膜组件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113156774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110394988.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于制造隔膜组件的方法是由彼得-詹·范兹沃勒;D·德格拉夫;保罗·詹森;玛丽亚·皮特;M·A·范德柯克霍夫;威廉·琼·范德赞德;D·F·弗莱斯;W-P·福尔蒂森设计研发完成，并于2016-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于制造隔膜组件的方法在说明书摘要公布了：一种用于EUV光刻术的隔膜，所述隔膜具有不大于200nm的厚度并且包括叠层，所述叠层包括：至少一个硅层；和至少一个硅化合物层，由硅和选自由硼、磷、溴组成的组中的元素的化合物组成。
本发明授权用于制造隔膜组件的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于EUV光刻术的隔膜，所述隔膜具有不大于200nm的厚度并且包括叠层，所述叠层包括：至少一个硅层；位于所述隔膜的外表面处的包括钌的至少一个盖层；和与所述盖层或每个盖层相邻的包括钼和钛中的至少一种的至少一个抗迁移层，其中，所述隔膜仅由边框保持且横跨所述边框伸展，所述边框沿所述隔膜的周边延伸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号