恭喜深圳市丰泰工业科技有限公司罗会才获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市丰泰工业科技有限公司申请的专利固晶用的吸附装置及固晶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112289729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910669625.X,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权固晶用的吸附装置及固晶机是由罗会才;郎欣林设计研发完成,并于2019-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本固晶用的吸附装置及固晶机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种固晶用的吸附装置及固晶机,该吸附装置包括:吸附区,贴覆有弹性材料,弹性材料上设置有至少两个微孔,每个微孔的孔径大于或等于0.01毫米;非吸附区,设置有至少一个贯通孔,非吸附区包括连接子区,连接子区与吸附区的弹性材料直接连接,用于支撑弹性材料,连接子区的材料是刚性材料;其中,吸附区和非吸附区共同形成空腔,贯通孔与空腔连通,贯通孔用于连接外界的真空装置,吸附装置在外界的真空装置的真空作用下能够通过吸附区的弹性材料上的至少两个微孔一次性吸取两个以上的晶片。通过这种方式,本发明能够高效率固晶,成本低廉,且不会压伤晶片或者漏吸晶片。
本发明授权固晶用的吸附装置及固晶机在权利要求书中公布了:1.一种固晶用的吸附装置,其特征在于,包括:吸附区,贴覆有弹性材料,所述弹性材料上设置有至少两个微孔,每个所述微孔的孔径大于或等于0.01毫米;非吸附区,设置有至少一个贯通孔,所述非吸附区包括连接子区,所述连接子区与所述吸附区的所述弹性材料直接连接,用于支撑所述弹性材料,所述连接子区的材料是刚性材料;其中,所述吸附区和所述非吸附区共同形成空腔,所述贯通孔与所述空腔连通,所述贯通孔用于连接外界的真空装置,所述吸附装置在外界的真空装置的真空作用下能够通过所述吸附区的所述弹性材料上的至少两个微孔一次性吸取两个以上的晶片;所述非吸附区还包括非连接子区;两个相对的所述连接子区和一个位于底部的所述非连接子区共同形成一个方形的槽口,所述弹性材料贴覆在所述槽口上;所述连接子区为一体成型的L型,两个所述连接子区呈倒L型相对设置。
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