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恭喜淄博晨启电子有限公司陈思太获国家专利权

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龙图腾网恭喜淄博晨启电子有限公司申请的专利一种半导体晶圆涂胶装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119426101B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510031445.4,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权一种半导体晶圆涂胶装置是由陈思太;宋波设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体晶圆涂胶装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体晶圆涂胶装置,涉及晶圆涂胶技术领域,包括底板,底板的上方固定连接有收集框,收集框的内部转动连接有转动筒,转动筒的顶端固定连接有转动盘,底板的顶端安装有电机,还包括定位机构和刷动机构。本发明通过设置刷动机构,电动推杆运转带动活动座向下移动,插板向下移动与推动块接触,推动推动块进行位移,推动块位移带动位移块进行滑动,带动定位柱位移与晶圆分离,防止晶圆转动过程中与定位柱之间造成摩擦;同时推动块位移带动刷动垫进行位移,刷动垫位移与晶圆的边缘进行接触,从而在晶圆转动过程中,刷动垫对晶圆的边缘进行刷动,便于防止胶残留在晶圆的边缘,且该设计还能方便对刷动垫进行快速更换操作。

本发明授权一种半导体晶圆涂胶装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆涂胶装置,包括底板(1),所述底板(1)的上方固定连接有收集框(2),所述收集框(2)的内部转动连接有转动筒(3),所述转动筒(3)的顶端固定连接有转动盘(4),所述底板(1)的顶端安装有电机(5),所述转动筒(3)的外壁固定连接有第二直齿轮(10),所述电机(5)的输出端连接有第一直齿轮(9),所述第一直齿轮(9)与所述第二直齿轮(10)相啮合,所述转动盘(4)的上方设置有电动推杆(11),所述电动推杆(11)的输出端连接有活动座(12),所述活动座(12)的底端安装有喷头(13),所述活动座(12)的顶端安装有进液管(14),所述进液管(14)与所述喷头(13)相连通,其特征在于,晶圆通过定位机构(6)保持与转动盘(4)处于同一轴心位置,晶圆的边缘通过刷动机构(7)进行刷动操作,晶圆通过抽气单元(8)固定在所述转动盘(4)顶端;所述定位机构(6)包括有安装架(601),所述安装架(601)固定连接于所述收集框(2)的顶端,所述安装架(601)的顶端对称开设有滑槽(602),所述滑槽(602)的内壁滑动连接有滑动架(603),所述电动推杆(11)安装于所述安装架(601)的横杆部底端,所述安装架(601)的外壁转动连接有转动块(605),所述转动块(605)的外壁固定连接有贯穿于所述滑动架(603)的第一螺纹杆(604),所述滑动架(603)的一端设置有位移座(606),所述位移座(606)的内部对称转动连接有第三直齿轮(607),所述第三直齿轮(607)的外壁固定连接有转动杆(608),所述转动杆(608)的一端固定连接有定位柱(609),所述定位柱(609)的底端固定连接有托板(610),所述位移座(606)的内部位于所述第三直齿轮(607)的外壁滑动连接有齿块(611),所述位移座(606)的外壁转动连接有转动柱(613),所述转动柱(613)的一端固定连接有贯穿于所述齿块(611)的第二螺纹杆(612);所述刷动机构(7)包括有伸缩杆(701),所述伸缩杆(701)对称固定连接于所述活动座(12)的外壁,所述伸缩杆(701)的一端固定连接有插板(702),所述滑动架(603)的外壁开设有插槽(703)和位移槽(704),所述插槽(703)供所述插板(702)插入,所述位移座(606)的底端固定连接有位移块(705),所述位移块(705)滑动连接于所述位移槽(704)的内壁,所述滑动架(603)的内部位于所述位移块(705)的底端转动连接有第四直齿轮(706),所述滑动架(603)的内部位于所述第四直齿轮(706)的底端滑动连接有推动块(707),所述推动块(707)与所述滑动架(603)之间连接有第一弹簧(708),所述推动块(707)的一端延伸至所述插槽(703)的内腔,所述推动块(707)的另一端固定连接有弹性片(709),所述弹性片(709)远离所述推动块(707)的一端固定连接有对接块(710),所述对接块(710)的一端设置有安装块(711),所述安装块(711)的外壁固定连接有刷动垫(712),所述安装块(711)远离所述刷动垫(712)的一端固定连接有连接块(713),所述对接块(710)朝向所述安装块(711)的一端开设有连接槽(714)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人淄博晨启电子有限公司,其通讯地址为:255300 山东省淄博市周村区丝绸路1566号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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