恭喜甬江实验室宓晓宇获国家专利权
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龙图腾网恭喜甬江实验室申请的专利半导体结构及其制备方法、电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119384210B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411962427.X,技术领域涉及:H10N30/04;该发明授权半导体结构及其制备方法、电子设备是由宓晓宇;高桥岳雄设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及其制备方法、电子设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种半导体结构及其制备方法、电子设备,涉及半导体技术领域。其中,半导体结构包括基板、第一电极层、压电层和第二电极层。第一电极层与第二电极层可用于与外部电源连接,从而使得本申请的半导体结构可通电。基板的第一侧的表面为凹凸结构,使得基板的第一侧表面具有凹陷和凸起结构,这样压电层内的结晶在基板的第一侧的表面生长时,结晶的部分位于凹凸结构的凹陷内,结晶的另一部分位于凹凸结构凸起上,位于凹陷结构内的结晶与位于凸起结构上的结晶可相互作用而变形,从而可提高结晶的介电性能,进而可提高本申请的半导体结构的介电性能。
本发明授权半导体结构及其制备方法、电子设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括基板(100),具有相背的第一侧(110)与第二侧(120),所述第一侧(110)的表面为凹凸结构;所述第一侧(110)的表面具有多个凸起部(140)和多个凹陷槽(131),多个所述凸起部(140)设置于多个所述凹陷槽(131)内,多个所述凸起部(140)间隔分布于所述第一侧(110)的表面;第一电极层(200),叠置于所述第一侧(110);压电层(300),叠置于所述第一电极层(200)背向所述基板(100)的一侧,所述压电层(300)内的部分结晶生长于所述凹陷槽(131)和所述凸起部(140)上;第二电极层(400),叠置于所述压电层(300)背向所述第一电极层(200)的一侧。
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