恭喜苏州镁伽科技有限公司田松获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种套刻标记测量区域生成方法及相关装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119356044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411931223.X,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种套刻标记测量区域生成方法及相关装置是由田松设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻标记测量区域生成方法及相关装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种套刻标记测量区域生成方法及相关装置,涉及芯片制造技术领域,在获取套刻标记图像中的套刻标记中心之后,根据套刻标记中心分别生成水平方向和垂直方向的边缘点提取区域,通过分别在水平方向和垂直方向的边缘点提取区域内对套刻标记图像进行灰度投影得到灰度曲线,计算灰度曲线对应的梯度曲线,根据梯度曲线中的梯度极值点准确提取边缘点,并标记内层边缘点和外层边缘点,从而根据水平方向和垂直方向的内层边缘点自动生成内层测量区域,并根据水平方向和垂直方向的外层边缘点自动生成外层测量区域,实现根据套刻标记自适应生成测量区域,有效提升了测量区域绘制效率和绘制精度。
本发明授权一种套刻标记测量区域生成方法及相关装置在权利要求书中公布了:1.一种套刻标记测量区域生成方法,其特征在于,包括:获取套刻标记图像中的套刻标记中心,所述套刻标记图像在水平方向和垂直方向对称;根据所述套刻标记中心分别生成水平方向和垂直方向的边缘点提取区域;分别在水平方向和垂直方向的边缘点提取区域内对所述套刻标记图像进行灰度投影得到灰度曲线;分别计算水平方向和垂直方向的灰度曲线对应的梯度曲线,并将梯度曲线中的梯度极值点确定为边缘点,并在边缘点中标记内层边缘点和外层边缘点;根据水平方向和垂直方向的内层边缘点生成内层测量区域,并根据水平方向和垂直方向的外层边缘点生成外层测量区域;所述根据所述套刻标记中心分别生成水平方向和垂直方向的边缘点提取区域,包括:以所述套刻标记中心为中心、宽度为套刻标记区域宽度、高度为套刻标记区域高度的预设比例值,生成水平方向的边缘点提取区域;以所述套刻标记中心为中心、宽度为套刻标记区域宽度的预设比例值、高度为套刻标记区域高度,生成垂直方向的边缘点提取区域。
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