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龙图腾网恭喜浙江杭可仪器有限公司申请的专利一种晶圆老化设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119064766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411561660.7，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种晶圆老化设备是由曹佶;盛成方;郭靖设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆老化设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆老化设备，包括测试箱，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件。本发明能提供一种晶圆老化设备，包括测试箱，其特征是，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件。

本发明授权一种晶圆老化设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆老化设备，包括测试箱，其特征是，所述的测试箱上部通过旋转滑移组件安装有上柜门，所述的测试箱内安装有装配座，所述的装配座位于上柜门内，所述的测试箱下部设有底箱，所述的底箱表面通过液压杆连接有下柜门，所述的下柜门内安装有老化组件，所述的上柜门一侧设有显示屏，所述的显示屏底部设有控制开关，所述的老化组件上测试底板及隔热底板，所述的测试底板及隔热底板上设有压紧组件和PCB驱动板，所述的PCB驱动板位于压紧组件两侧，所述的压紧组件前端两侧对称设有老化板导向组件，所述的压紧组件内设有测试组件，所述的测试组件位于老化板导向组件之间，所述的压紧组件两侧均设有驱动转接板，所述的PCB驱动板pin针与驱动转接板外侧电性连接，所述的驱动转接板延伸至压紧组件内，所述的测试组件顶部设有老化板盖板组件，所述的测试组件底部设有氮气加热组件，所述的测试组件上设有两个进出气管，所述的氮气加热组件与其中一个进出气管相连，所述的老化板盖板组件内设老化PC板，所述的老化PC板通过pin针与驱动转接板电性连接，所述的测试组件上设有加热板主体，所述的加热板主体顶部设有晶圆导热主板，待测件位于晶圆导热主板内，所述的加热板主体底部设有绝缘底板，所述的绝缘底板与加热板主体一侧共同设有导轨条，所述的进出气管位于加热板主体两侧，所述的晶圆导热主板底部对应进出气管设有进气口压板，其中一个进出气管将氮气加热组件提供的加热氮气通过进气口压板连通，送入老化板盖板组件和测试组件形成的密闭空间内，另一个进出气管与外部真空泵相连，先一步将密闭空间内抽成真空状态，所述的加热板主体一侧设有加热台探针，所述的加热板主体前后两端对应绝缘底板设有限位弹簧杆，所述的老化板盖板组件上设有底护板，所述的底护板表面对称设有加强板，所述的底护板底部安装板，所述的安装板内设有老化PC板，所述的安装板底部设有垫板，所述的垫板底部设有上装饰板，所述的安装板内设有针卡，所述的针卡与老化PC板电性连接，所述的针卡上设有老化仓上封板，所述的待测件安装在老化仓上封板内，所述的老化板导向组件内向下倾斜设有导向板，所述的导向板内设有止回楔口，所述的压紧组件内对应老化板盖板组件设有限位板所述的限位板上安装有弹簧柱塞，所述的老化板盖板组件通过导向板滑入压紧组件内，通过所述的限位板上弹簧柱塞进行老化板盖板组件两侧下压的缓冲，所述的止回楔口对老化板盖板组件进行送入后的限位，所述的老化板盖板组件内设有待测件，所述的待测件通过装配座安装到老化板盖板组件上之后，通过老化板导向组件送入所述的老化组件内，经过所述的压紧组件压紧在所述的测试组件上，进行老化测试。

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