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龙图腾网恭喜江西安芯美科技有限公司申请的专利一种晶圆加工用的上下料装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117612987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311647647.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆加工用的上下料装置及方法是由陆金发设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工用的上下料装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆加工用的上下料装置及方法，解决了晶圆上下料周期较长，影响工作效率的问题，其包括安装座，所述安装座的下方设有旋转架，旋转架的上方设有连接盘，安装座的上方设有转轴，安装座上设有用于驱动转轴旋转的驱动件，转轴和连接盘通过摩擦传动结构连接，连接盘和旋转架通过拉伸止动器连接，旋转架的上方设有按压环，转轴和按压环通过摩擦往复移动组件连接，旋转架的顶部固定连接有限位块，按压环上开设有两个与限位块相配合的避让槽，旋转架的底部固定连接有第一晶圆吸附机构和第二晶圆吸附机构；在上料的同时进行下料，减少晶圆上下料的周期，增加了工作效率。

本发明授权一种晶圆加工用的上下料装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用的上下料装置，包括安装座（1），其特征在于：所述安装座（1）的下方设有旋转架（2），旋转架（2）的上方设有连接盘（3），安装座（1）的上方设有转轴（4），安装座（1）上设有用于驱动转轴（4）旋转的驱动件，转轴（4）和连接盘（3）通过摩擦传动结构连接，连接盘（3）和旋转架（2）通过拉伸止动器连接，旋转架（2）的上方设有按压环（5），转轴（4）和按压环（5）通过摩擦往复移动组件连接，旋转架（2）的顶部固定连接有限位块（6），按压环（5）上开设有两个与限位块（6）相配合的避让槽（7），旋转架（2）的底部固定连接有第一晶圆吸附机构（8）和第二晶圆吸附机构（9），安装座（1）上设有分别与第一晶圆吸附机构（8）和第二晶圆吸附机构（9）相配合的控制单元，旋转架（2）上固定连接有止动架（10），安装座（1）的下方设有两个与止动架（10）相配合的挡板（11），止动架（10）上固定连接有按压柱（12），挡板（11）的一侧设有活动板（13），活动板（13）上设有与按压柱（12）相配合的倾斜面，安装座（1）上设有分别与挡板（11）和活动板（13）相配合的止动滑动避让结构；所述止动滑动避让结构包括套设于活动板（13）外部的滑板（14），滑板（14）和安装座（1）通过上移复位单元连接，活动板（13）上固定连接有侧板（15），滑板（14）上固定连接有第一支撑部（16），第一支撑部（16）和侧板（15）通过第一拉伸弹簧（17）连接，第一支撑部（16）上固定连接有第一止动柱（18），且第一止动柱（18）和侧板（15）相接触，安装座（1）上设有分别与滑板（14）和挡板（11）相配合的啮合同步件。

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