恭喜深圳市嘉敏利光电有限公司潘德烈获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市嘉敏利光电有限公司申请的专利一种垂直腔面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115411616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211052440.2,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权一种垂直腔面发射激光器及其制备方法是由潘德烈;李承远;李佳勋设计研发完成,并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直腔面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括衬底、以及依次层叠设置于衬底上的N型布拉格反射镜层、量子阱层和P型布拉格反射镜层,P型布拉格反射镜层包括依次层叠设置的具有电流限制孔的复合式氧化层和子布拉格反射镜层,复合式氧化层包括至少一个混合式氧化层,混合式氧化层包括至少一组交替设置的第一AlGaAs层和第二AlGaAs层,子布拉格反射镜层包括至少一组交替设置的第三AlGaAs层和第四AlGaAs层,第一AlGaAs层中Al的含量和第三AlGaAs层中Al的含量相等,第一AlGaAs层中Al的含量、第四AlGaAs层中Al的含量和第二AlGaAs层中Al的含量依次增大。该垂直腔面发射激光器及其制备方法能够解决现有技术中共振腔的长度随氧化层层数的增多而增大的问题。
本发明授权一种垂直腔面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种垂直腔面发射激光器,其特征在于,包括衬底、以及依次层叠设置于所述衬底上的N型布拉格反射镜层、量子阱层和P型布拉格反射镜层,所述P型布拉格反射镜层包括依次层叠设置的具有电流限制孔的复合式氧化层和子布拉格反射镜层,所述复合式氧化层包括至少一个混合式氧化层,所述混合式氧化层包括至少一组交替设置的第一AlGaAs层和第二AlGaAs层,所述子布拉格反射镜层包括至少一组交替设置的第三AlGaAs层和第四AlGaAs层,所述第一AlGaAs层中Al的含量和所述第三AlGaAs层中Al的含量相等,所述第一AlGaAs层中Al的含量、所述第四AlGaAs层中Al的含量和所述第二AlGaAs层中Al的含量依次增大。
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