恭喜杭州士兰微电子股份有限公司周延青获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利MEMS麦克风获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111866686B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010846116.2，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权MEMS麦克风是由周延青;胡铁刚;潘华兵设计研发完成，并于2020-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓会跟随最外圈释放孔靠近支撑墙体的一侧的轮廓。将释放孔阵列中最外圈释放孔配置为背向释放孔阵列的中心的第二侧较面向释放孔阵列的中心的第一侧更平坦，从而平滑支撑墙体内壁的轮廓，抑制尖角的形成，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。
本发明授权MEMS麦克风在权利要求书中公布了：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底；支撑墙体，设置于所述衬底上并围合成一空腔；振动膜，悬于所述空腔内且边缘延伸至所述支撑墙体内固定；背板结构，位于所述支撑墙体上并遮盖所述空腔；以及，释放孔阵列，包括多个贯穿所述背板结构并与所述空腔连通的释放孔，位于所述释放孔阵列的最外圈释放孔至少具有第一侧和第二侧，所述第一侧面向所述释放孔阵列的中心，所述第二侧背向所述释放孔阵列的中心，所述第二侧较所述第一侧更平坦；所述支撑墙体包括两个堆叠的支撑层，所述振动膜的边缘被夹持在两个所述支撑层之间，所述背板结构位于所述振动膜上方。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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