恭喜北京日扬弘创智能装备有限公司葛成重获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种装载晶圆减震装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361505B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411929320.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种装载晶圆减震装置是由葛成重;鲍建盈;关仁杰;王宏声;赵海荣设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装载晶圆减震装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种装载晶圆减震装置，半导体材料技术领域，该装置包括：装载手臂本体、两个导向件和两个支撑件；两个支撑件分别固定设置在装载手臂本体的装载部的两侧；支撑件上开设有第一水流道，装载手臂本体上靠近支撑件的位置开设有与第一水流道连通的第二水流道；第二水流道与外部连通；第一水流道的进水口的位置距离提拉部的最大高度小于第二水流道的出水口的位置距离提拉部的最小高度；其中，晶圆通过导向件后进入支撑件。本发明通过导向件反弹力水浮晶圆导向，提升装载手臂的晶圆装载稼动率；第一水流道和第二水流道排水，该排水压力的反作用力对晶圆增加了浮力作用，从而可以对晶圆下降过程进行缓冲减震，提升了晶圆的制作品质良率。
本发明授权一种装载晶圆减震装置在权利要求书中公布了：1.一种装载晶圆减震装置，其特征在于，包括：装载手臂本体、两个导向件和两个支撑件；两个所述支撑件分别固定设置在所述装载手臂本体的装载部的两侧，两个所述导向件分别位于两个所述支撑件靠近所述装载手臂本体的提拉部的一端的一侧；所述支撑件上开设有第一水流道，所述装载手臂本体上靠近所述支撑件的位置开设有与所述第一水流道连通的第二水流道；所述第二水流道与外部连通；所述第一水流道的进水口的位置距离所述提拉部的最大高度小于所述第二水流道的出水口的位置距离所述提拉部的最小高度；其中，晶圆通过所述导向件后进入所述支撑件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京日扬弘创智能装备有限公司，其通讯地址为：100000 北京市大兴区青云店镇青正街8号546室平房(集群注册)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号