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龙图腾网恭喜广东工业大学申请的专利用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119043190B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411138510.5，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法是由龙江游;严永康设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法，在线检测设备将供体薄膜的厚度检测装置集成到激光诱导转移装置中，实现供体薄膜厚度的原位检测，省略了在激光转移前需将供体薄膜在外部独立的检测设备进行厚度测定的步骤。得益于厚度检测装置和激光诱导转移装置的集成，使得利用本设备的激光诱导转移过程可以在转移前或转移中，根据供体薄膜的实际厚度快速调节转移激光的加工参数，以确保激光诱导转移的转移质量。另外，本方案还提出了一种使用上述在线检测设备的方法，在激光转移过程中持续开启监测激光，通过在激光转移过程中对供体薄膜厚度进行在线检测，从而实时调整转移激光的加工参数，能有效兼顾加工效率和转移效果。

本发明授权用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，包括监测激光器、监测整形装置、偏振分光聚集装置、转移激光器、转移整形装置、二向色镜、光电探测器和滤波片；所述偏振分光聚集装置包括依次设置的偏振分光棱镜、四分之一波片和聚焦镜；所述转移激光器、所述转移整形装置、所述二向色镜、所述偏振分光棱镜、所述四分之一波片和所述聚焦镜位于同一光路上，且所述转移激光器用于发射转移激光，所述转移整形装置用于对所述转移激光进行整形，所述二向色镜用于将所述转移激光从所述转移整形装置输送至所述偏振分光棱镜，所述偏振分光棱镜用于透过所述转移激光，所述四分之一波片用于调整所述转移激光的偏振态，所述聚焦镜用于聚焦所述转移激光；所述监测激光器、所述监测整形装置、所述偏振分光棱镜、所述四分之一波片和所述聚焦镜位于同一光路上，且所述监测激光器用于发射监测激光，所述监测整形装置用于对所述监测激光进行整形，所述偏振分光棱镜还用于反射所述监测激光，所述四分之一波片还用于调整所述监测激光的偏振态，所述聚焦镜还用于聚焦所述监测激光；所述光电探测器、所述滤波片、所述二向色镜、所述偏振分光棱镜、所述四分之一波片和所述聚焦镜位于同一光路上，且所述聚焦镜、所述偏振分光棱镜和所述滤波片均用于透过所述监测激光经供体膜片反射后形成的反射激光，且所述二向色镜用于将所述反射激光从所述偏振分光棱镜输送至所述滤波片，所述四分之一波片还用于调整所述反射激光的偏振态，所述光电探测器用于接收所述反射激光并将所述反射激光的光强转换为电信号；所述转移整形装置和所述监测整形装置均包括偏振光处理器，所述偏振光处理器用于将入射光调整为特定的单一偏振方向，且进入所述偏振分光棱镜的转移激光的偏振方向与进入所述偏振分光棱镜的监测激光的偏振方向相互垂直；所述用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备的在线检测方法包括以下步骤：A、准备供体膜片；其中，所述供体膜片包括供体基片和供体薄膜，所述供体薄膜贴附于所述供体基片的下表面；B、开启所述监测激光器，并使所述监测激光器发出的监测激光照射所述供体基片的上表面；C、保持所述监测激光器开启，同时开启所述转移激光器，并且所述转移激光器发出的转移激光照射所述供体基片的上表面；D、所述光电探测器接收所述监测激光经所述供体膜片反射后形成的反射激光的反射信息，根据所述反射信息判断所述供体薄膜的厚度。

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