上海昶火微电子科技有限公司谢超伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海昶火微电子科技有限公司申请的专利具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222699246U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421461242.6，技术领域涉及：B65G1/04；该实用新型具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统是由谢超伟;潘吉;殷智俊设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统，包括PVD设备主体，所述PVD设备主体上连接有顶升移栽输送机，所述顶升移栽输送机底部连接有一号顶升气缸，所述顶升移栽输送机输出端伸入托盘架底部的托盘输送机构处，所述托盘输送机构底部安装有二号顶升气缸，所述托盘输送机构设置在PVD腔室主体内，所述PVD腔室主体侧面还设置有RFID读写头。本实用新型通过一次顶升气缸的运行可运输多块托盘，节约人力资源，并且在多种状态下的托盘能够放在同一货架上，不会因为托盘的倾斜状态或者角度不通过而影响输送，输送托盘的效率高，同时货架具有RFID读写信息功能，避免人工犯错。
本实用新型具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统在权利要求书中公布了：1.具有信息RFID存储信息功能的PVD托盘回流系统，包括PVD设备主体1，其特征在于：所述PVD设备主体1上连接有顶升移栽输送机2，所述顶升移栽输送机2底部连接有一号顶升气缸3，所述顶升移栽输送机2输出端伸入托盘架4底部的托盘输送机构5处，所述托盘输送机构5底部安装有二号顶升气缸6，所述托盘输送机构5设置在PVD腔室主体7内，所述PVD腔室主体7侧面还设置有RFID读写头8。
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