江西杰创半导体有限公司敖学文获国家专利权
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龙图腾网获悉江西杰创半导体有限公司申请的专利一种半导体快速退火炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421457076.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种半导体快速退火炉是由敖学文;祝烽智;游伟康;祝进田设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体快速退火炉在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种半导体快速退火炉,包括如下结构:炉壳,所述炉壳的中部嵌套有炉体,所述炉体的前端活动连接有端盖;保温盖,所述保温盖关于炉体的中部前后对称设置,两个所述保温盖的相对侧分别与两个隔离板的外侧抵触,两个所述隔离板的相对侧分别与导杆的前后端固定连接,偏转电机和偏转杆配合,带动隔离板在保温盖之间偏转,配合辅助杆将完成隔离板从保温盖或炉体的轴向上偏离处理,此时工作人员无需直接面对炉体内部高温环境对外部环境温度产生的热冲击,方便工人人员开展晶圆退火作业中的取放料作业,解决现有设备在其炉体轴向上人工作业易受到炉体内部高温环境的热冲击的问题。
本实用新型一种半导体快速退火炉在权利要求书中公布了:1.一种半导体快速退火炉,其特征在于:包括如下结构:炉壳(1),所述炉壳(1)的中部嵌套有炉体(2),所述炉体(2)的前端活动连接有端盖(3);保温盖(5),所述保温盖(5)关于炉体(2)的中部前后对称设置,两个所述保温盖(5)的相对侧分别与两个隔离板(6)的外侧抵触,两个所述隔离板(6)的相对侧分别与导杆(7)的前后端固定连接。
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