无锡旭邦精密机械有限公司周龙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡旭邦精密机械有限公司申请的专利一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705471U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420805301.0,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮是由周龙设计研发完成,并于2024-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮在说明书摘要公布了:本实用新型属于硅片生产技术领域,尤其涉及一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮,包括固定板和盖板,固定板之上设置有放置装置,固定板的内部前后两侧分别设置有调节装置。该可适应不同厚度硅片的硅片花篮,将硅片放置于花篮杆和侧杆之间的放置底板之上,随后对电磁铁通电,从而与放置底板之间产生吸力,从而拉动放置底板沿着活动腔上移,从而将不同厚度的硅片夹持在放置底板和顶板之间,提高了该装置的适用范围,启动双向电机带动传动件中的丝杆旋转,从而带动丝杆之上的螺纹滑套和其顶部的连接杆相对移动,从而拉动连接杆顶部的侧杆相对移动,从而调整了侧杆和花篮杆之间的间距,以适应不同尺寸的硅片,进一步提高了该装置的适用范围。
本实用新型一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮在权利要求书中公布了:1.一种可适应不同厚度硅片的硅片花篮,包括固定板1和盖板2,所述盖板2安装于固定板1的上方,其特征在于:所述固定板1之上设置有放置装置,所述固定板1的内部前后两侧分别设置有调节装置;所述放置装置包括花篮杆301、侧杆302、放置组件303,两根所述花篮杆301分别固定连接于固定板1的上表面中部前后两端,两组所述侧杆302分别固定连接于固定板1的上表面左右两侧的前后两端,若干组所述放置组件303分别垂直等距设置于花篮杆301之上。
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