恭喜合肥开悦半导体科技有限公司张新获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥开悦半导体科技有限公司申请的专利一种杯型防溅罩校准工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705485U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420356511.6,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种杯型防溅罩校准工具是由张新;程博;许鹏设计研发完成,并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种杯型防溅罩校准工具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种杯型防溅罩校准工具,用于校准杯型防溅罩到吸盘的距离,包括安装架以及安装在所述安装架上的距离检测件,所述安装架上具有与吸盘接触的接触部;还包括放置底座,所述放置底座具有调零部和支撑部,所述支撑部的上表面与所述接触部接触,所述调零部与所述距离检测件相对且所述调零部的上表面与所述支撑部的上表面在同一水平面内。本实用新型中,所提出的杯型防溅罩校准工具,通过放置底座对距离检测件进行调零,通过将该安装架放置在吸盘上后通过距离来检测件与杯型防溅罩相对检测杯型防溅罩到吸盘上表面的距离,结构简单、操作简单且检测精度相对较高。
本实用新型一种杯型防溅罩校准工具在权利要求书中公布了:1.一种杯型防溅罩校准工具,用于校准杯型防溅罩1到吸盘2的距离,其特征在于,包括安装架3以及安装在所述安装架3上的距离检测件4,所述安装架3上具有与吸盘2接触的接触部300;还包括放置底座5,所述放置底座5具有调零部50和支撑部51,所述支撑部51的上表面与所述接触部300接触,所述调零部50与所述距离检测件4相对且所述调零部50的上表面与所述支撑部51的上表面在同一水平面内。
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