恭喜赛芈科技(上海)有限公司吕南获国家专利权
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龙图腾网恭喜赛芈科技(上海)有限公司申请的专利针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705486U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420359887.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具是由吕南;赵阳设计研发完成，并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具，包含：主体框架和若干支撑件；其中，主体框架下端设置有若干定位柱；支撑件内侧上端设置有直角安放槽，直角安放槽上端设置有倒角。本实用新型解决了现有半导体设备安装调试过程中不能很好地观察第一机械手取放晶圆位置的困扰，降低了损坏晶圆和设备的风险。
本实用新型针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具在权利要求书中公布了：1.一种针对湿法蚀刻设备内晶舟位置的机械手校准治具，其特征在于，包含：主体框架，所述主体框架下端设置有若干定位柱；若干支撑件，所述支撑件内侧上端设置有直角安放槽，所述直角安放槽上端设置有倒角；所述主体框架上设置有若干定位孔，所述若干定位孔与所述若干定位柱一一对应，所述若干定位柱通过对应的所述定位孔安装在所述主体框架下端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人赛芈科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201615 上海市松江区九亭镇九亭中心路1158号6幢304室-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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