恭喜三星SDI株式会社金容兑获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜三星SDI株式会社申请的专利薄膜沉积用组合物、薄膜制造方法、薄膜及半导体装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112652519B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011057384.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权薄膜沉积用组合物、薄膜制造方法、薄膜及半导体装置是由金容兑;吴釜根;朴景铃;成太根;任相均;林雪熙;田桓承设计研发完成，并于2020-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积用组合物、薄膜制造方法、薄膜及半导体装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于沉积薄膜的组合物，包含含有锶、钡或其组合的有机金属化合物和至少一个由化学式1表示的含非共用电子对的化合物；一种使用用于沉积薄膜的组合物制造薄膜的方法；以及一种由用于沉积薄膜的组合物制造的薄膜；以及一种包含薄膜的半导体装置。在式1中，R1到R3的定义如本说明书中所描述。[化学式1]R1R2R3N
本发明授权薄膜沉积用组合物、薄膜制造方法、薄膜及半导体装置在权利要求书中公布了：1.一种用于沉积薄膜的组合物，包括：有机金属化合物，包含锶、钡或其组合；以及至少一个由化学式1表示的含非共用电子对的化合物：[化学式1]R1R2R3N其中，在化学式1中，R1到R3独立地为经取代或未经取代的C3到C15烷基，其中所述用于沉积薄膜的组合物具有小于或等于500厘泊的粘度，所述粘度根据以下条件所测量：扭矩每分钟转速：20％到80％扭矩1转分到100转分样品杯温度：25℃。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星SDI株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号