恭喜ASML荷兰有限公司王长安获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于确定印刷图案的随机变化的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113454533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080015882.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权用于确定印刷图案的随机变化的方法是由王长安;汪建江;梁蛟;王祯祥;冯牧设计研发完成，并于2020-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定印刷图案的随机变化的方法在说明书摘要公布了：本文描述了一种用于确定衬底上的印刷图案的测量数据的方法。方法涉及：获得（i）衬底的原始图像，包括与参考图案相对应的印刷图案，（ii）原始图像的平均图像，以及（iii）基于平均图像的复合轮廓。进一步地，复合轮廓相对于参考图案的参考轮廓对准，并且原始轮廓是基于对准的复合轮廓和复合轮廓的管芯到数据库对准的输出从原始图像提取的。进一步地，方法基于原始轮廓确定多个图案测量结果，并且基于多个图案测量结果确定与印刷图案相对应的测量数据。进一步地，方法确定多个过程变化，诸如随机变化、管芯间变化、管芯内变化和总变化。
本发明授权用于确定印刷图案的随机变化的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定衬底上的印刷图案的测量数据的方法，所述方法包括：获得（i）所述衬底的多个图像，所述图像中的每个图像包括与参考图案相对应的印刷图案，（ii）所述多个图像的平均图像，以及（iii）基于所述平均图像的印刷图案的复合轮廓；经由处理器，将所述平均图像的所述复合轮廓相对于所述参考图案的参考轮廓对准；经由所述处理器，从所述多个图像提取所述图像内的所述印刷图案的多个轮廓以保留所述多个图像中的至少一些随机变化，所述提取由所述对准的复合轮廓引导；经由所述处理器，基于所述多个轮廓来确定多个图案测量结果，其中图案测量结果是所述印刷图案的特性；以及经由所述处理器，基于所述多个所述图案测量结果来确定与所述印刷图案相对应的所述测量数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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