恭喜ASML荷兰有限公司D·腾·胡彭获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于制造阻尼装置的方法、光刻设备、投影系统和器件制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111465903B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880080977.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于制造阻尼装置的方法、光刻设备、投影系统和器件制造方法是由D·腾·胡彭;F-X·德比耶斯密;E·P-Y·韦纳设计研发完成，并于2018-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于制造阻尼装置的方法、光刻设备、投影系统和器件制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于制造包括第一部分和第二部分的阻尼装置的方法，该方法包括以下步骤：a在第一部分和第二部分之间的空间中提供阻尼材料，使得阻尼材料在该空间中处于压缩状态；和b将该阻尼装置加热至预定温度，以便将阻尼材料粘附到第一部分和第二部分。
本发明授权用于制造阻尼装置的方法、光刻设备、投影系统和器件制造方法在权利要求书中公布了：1.一种用于制造阻尼装置的方法，所述阻尼装置包括第一部分和第二部分，所述方法包括以下步骤：a在充当所述阻尼装置的弹簧的所述第一部分和所述第二部分之间的空间中提供阻尼材料，使得所述阻尼材料在所述空间中处于压缩状态；和b将所述阻尼装置加热至预定温度，以便将所述阻尼材料粘附到所述第一部分和所述第二部分，其中所述预定温度低于阻尼材料的熔化温度，但是高到足以使所述阻尼材料将自身调整到所述弹簧的所述第一部分和所述第二部分两者的表面。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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