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德玛克(浙江)精工科技有限公司王亚飞获国家专利权

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龙图腾网获悉德玛克(浙江)精工科技有限公司申请的专利一种沉降式真空腔获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222715436U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421211728.4,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种沉降式真空腔是由王亚飞;童浩;杨帆;魏露;陈丕杰设计研发完成,并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种沉降式真空腔在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种沉降式真空腔,涉及镀膜机技术领域,包括:腔体组件;所述腔体组件包括有主腔体和气压平衡管,主腔体的左侧焊接有气压平衡管,气压平衡管的内部安装有内平衡管,主腔体的内部通过焊接连接杆固定连接有基片加热件;所述基片加热件的内部卡接有翻转件;所述内平衡管的内部固定卡接有卡套。当基片的一面完成镀膜后,拉动转杆带动卡环收紧,随后转动转杆令基片一端翘起,通过密封堵塞令转杆始终保持与主腔体之间密封连接,转杆将基片转面后放置到基片加热件上,可以继续进行镀膜而不需要将基片取出翻面,提高加工效率,解决沉降式镀膜需要单独翻转基片才能将另一面进行镀膜,导致加工效率较低的问题。

本实用新型一种沉降式真空腔在权利要求书中公布了:1.一种沉降式真空腔,包括:腔体组件1和平衡件7;其特征在于,所述腔体组件1包括有主腔体11和气压平衡管12,主腔体11的左侧焊接有气压平衡管12,气压平衡管12的内部安装有内平衡管4,主腔体11的内部通过焊接连接杆201固定连接有基片加热件2;所述基片加热件2的内部卡接有翻转件3;所述内平衡管4的内部固定卡接有卡套5;所述卡套5的内部转动卡接有转轴401,转轴401上套接有传动带4012,传动带4012的另一端连接有定轴转杆6;所述平衡件7的底部固定连接齿条701,齿条701活动卡接在内平衡管4的内部;所述定轴转杆6定轴转动卡接在内平衡管4的内部,定轴转杆6的两端固定连接有齿轮601;所述齿轮601的底部啮合连接有齿条701。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人德玛克(浙江)精工科技有限公司,其通讯地址为:313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道中央大道与长兴大道交叉口东南侧;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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