恭喜浙江创芯集成电路有限公司李光照获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江创芯集成电路有限公司申请的专利排气管道及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720347U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420435238.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型排气管道及刻蚀设备是由李光照;陈慧新;张一帆设计研发完成，并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本排气管道及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种排气管道及刻蚀设备，其中，所述排气管道包括：主管道，适于使气体通过，所述气体为刻蚀处理过程中产生的气体；壳体，所述壳体与所述主管道形成腔室，所述腔室适于容纳冷却介质，所述冷却介质用于冷却所述气体；其中，所述壳体上设置有与所述腔室相连通的冷却介质入口和冷却介质出口。采用上述技术方案，能够提高排气能力，进而提升刻蚀设备的工艺制程能力。
本实用新型排气管道及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种排气管道，其特征在于，包括：主管道，适于使气体通过，所述气体为刻蚀处理过程中产生的气体，所述主管道具有弯曲部；壳体，所述壳体与所述主管道形成腔室，所述腔室适于容纳冷却介质，所述冷却介质用于冷却所述气体；其中，所述壳体上设置有与所述腔室相连通的冷却介质入口和冷却介质出口；至少一个引流挡板，设置于所述弯曲部处，且位于所述主管道靠近所述冷却介质出口的一侧，适于引导所述气体的流通方向。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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