恭喜争丰半导体科技(苏州)有限公司刘乾峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜争丰半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆夹持搬运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420209886.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆夹持搬运装置是由刘乾峰;周鹏程;郭易设计研发完成，并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹持搬运装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆夹持搬运装置，包括X轴伺服模组，X轴伺服模组上设有与之移动连接的Z轴伺服模组，Z轴伺服模组上设有与之移动连接的晶圆搬运机构，晶圆搬运机构包括固定架，固定架远离Z轴伺服模组的一侧设有夹具承载盘，固定架靠近Z轴伺服模组的一侧设有伸缩气缸，晶圆搬运机构中部夹持有晶圆。本实用新型的有益效果：双向夹持型搬运装置确保搬运时中心位置不变，搬运过程中能承载晶圆防掉落，并适用于taiko工艺产品，提供X轴、Z轴方向自由度，能承载晶圆，且防止晶圆掉落，并实现断气状态保护。
本实用新型一种晶圆夹持搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持搬运装置，其特征在于：包括X轴伺服模组1，所述X轴伺服模组1上设有与之移动连接的Z轴伺服模组2，所述Z轴伺服模组2上设有与之移动连接的晶圆搬运机构，所述晶圆搬运机构包括固定架5，所述固定架5远离所述Z轴伺服模组2的一侧设有夹具承载盘7，所述固定架5靠近所述Z轴伺服模组2的一侧设有伸缩气缸6，所述晶圆搬运机构中部夹持有晶圆11。
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