恭喜FEI公司A.汉斯特拉获国家专利权
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龙图腾网恭喜FEI公司申请的专利具有改进的成像分辨率的电子显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110690093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910610201.6,技术领域涉及:H01J37/10;该发明授权具有改进的成像分辨率的电子显微镜是由A.汉斯特拉;P.唐娜设计研发完成,并于2019-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有改进的成像分辨率的电子显微镜在说明书摘要公布了:一种电子显微镜,其包括:‑样本固持器,所述样本固持器用于固持样本;‑源,所述源用于产生电子射束;‑照明系统,所述照明系统用于引导所述射束以照射所述样本;‑细长射束导管,所述射束被引导通过所述细长射束导管;‑检测器,所述检测器用于检测响应于所述照射从所述样本发出的辐射,其中所述射束导管的至少纵向部分具有复合结构,所述复合结构包括:‑由电绝缘材料构成的外管;‑由导电材料构成的内表层。在替代性但相关的结构中,所述射束导管的至少纵向部分包含包括混合电绝缘材料和导电材料的聚集复合材料。
本发明授权具有改进的成像分辨率的电子显微镜在权利要求书中公布了:1.一种电子显微镜,其包括:样本固持器,所述样本固持器用于固持样本;源,所述源用于产生电子射束;照明系统,所述照明系统用于引导所述射束以照射所述样本;细长射束导管,所述射束被引导通过所述细长射束导管;多极透镜组合件,所述多极透镜组合件被配置为像差校正器;检测器,所述检测器用于检测响应于所述照射从所述样本发出的辐射,其特征在于,所述射束导管的至少纵向部分至少延伸通过所述像差校正器,并且具有复合结构,所述复合结构包括:由电绝缘材料构成的外管;由导电材料构成的内表层,所述导电材料的内表层具有导电率σ和厚度t,其中σt0.1Ω-1。
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