恭喜常州英诺激光科技有限公司胥庆亮获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州英诺激光科技有限公司申请的专利晶圆双面刻蚀重合度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222775274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420795280.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆双面刻蚀重合度检测装置是由胥庆亮;靳璞磊;万晟睿设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆双面刻蚀重合度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于技术领域，具体涉及一种晶圆双面刻蚀重合度检测装置。本装置包括：箱体；横移机构，设置在箱体内，其上设置有旋转载具；所述旋转伸出箱体上盖，用于吸附晶圆；第一检测机构，设置在箱体上方，用于检测晶圆正面的MARK点；第二检测机构，设置在箱体内，用于检测晶圆反面的MARK点。本申请的晶圆双面刻蚀重合度检测装置包括设置在横移机构上的旋转载具可以用于吸附晶圆，并且横移机构可以带动旋转载具移动，旋转载具可以带动晶圆转动，极大的方便了边缘MARK点的检测；第一检测机构和第二检测机构可以同时检测晶圆正反面边缘MARK点，从而便于检测晶圆双面刻蚀重合度，提升了检测效率。
本实用新型晶圆双面刻蚀重合度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆双面刻蚀重合度检测装置，其特征在于，包括：箱体；横移机构，设置在箱体内，其上设置有旋转载具；所述旋转载具伸出箱体上盖，用于吸附晶圆；第一检测机构，设置在箱体上方，用于检测晶圆正面的MARK点；第二检测机构，设置在箱体内，用于检测晶圆反面的MARK点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州英诺激光科技有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市武进区常武中路18-69号常州科教城英诺激光大厦3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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