恭喜二维新材料(深圳)有限公司许子寒获国家专利权
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龙图腾网恭喜二维新材料(深圳)有限公司申请的专利一种二氧化钒薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116875947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310624159.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种二氧化钒薄膜的制备方法是由许子寒;曹辰辰;李甜田设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二氧化钒薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括下列步骤：步骤一：衬底清洗：将衬底依次经过去离子水、丙酮、乙醇、去离子水的超声清洗后，使用氮气枪将衬底吹干备用；步骤二：在衬底上使用磁控溅射方式镀第一钒金属层；步骤三：对第一钒金属层进行氧化得到钒的氧化层；步骤四：在钒的氧化层上使用磁控溅射方式镀第二钒金属层；步骤五：将镀好材料的衬底实施退火步骤。本发明制备方法根据金属钒的氧化程度，通过再次镀不同厚度的金属钒层来调整总体膜层中的钒氧摩尔比。该方法对薄膜沉积和退火的要求低，且所制备VO2薄膜电学性能优异，相变前后，方块电阻的变化幅度可以达到4个数量级。
本发明授权一种二氧化钒薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤一：衬底清洗：将衬底依次经过去离子水、丙酮、乙醇、去离子水的超声清洗后，使用氮气枪将衬底吹干备用；步骤二：在衬底上使用磁控溅射方式镀第一钒金属层；步骤三：对第一钒金属层进行氧化得到钒的氧化层，钒的氧化层为VO2、V6O13、V4O9、V7O16、V3O7、V2O5其中的一种纯相或几种混合相；步骤四：在钒的氧化层上使用磁控溅射方式镀第二钒金属层，第二钒金属层的厚度Y取决于第一钒金属层的厚度X以及钒的氧化层中的氧钒摩尔比A，其中三者的关系式为Y=XA-22；步骤五：将镀好材料的衬底实施退火步骤，退火温度为300~600℃，退火气氛中氧含量小于1%。
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