恭喜扬州虹扬科技发展有限公司薛明峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜扬州虹扬科技发展有限公司申请的专利一种Cell返工工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115985759B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211680410.6,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权一种Cell返工工艺是由薛明峰设计研发完成,并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Cell返工工艺在说明书摘要公布了:本发明属于半导体生产的技术领域,具体涉及一种Cell返工工艺。本发明包括以下步骤:S1、将Cell置于丙酮原液中浸泡9~11分钟;S2、将Cell置于体积比为5%~15%的硝酸溶液中浸泡19~21分钟;S3、将Cell置于硫酸溶液中浸泡110~130分钟;S4、将Cell浸入第一混合酸;S5、将Cell置于溢流池内溢流水洗30秒;S6、将置于温度为40~60℃的热水池内浸泡30秒;S7、将Cell置于第二混合酸中浸泡50~70秒。S8、将Cell置于溢流池内溢流水洗30秒;S9、将Cell置于体积比为5%~10%的硝酸溶液中浸泡50~70秒;S10、对Cell的铜粒表面进行10~20分钟的电镀锡。本发明用于解决现有技术生产的Cell不良品过多,大幅降低Cell生产良品率的技术问题。
本发明授权一种Cell返工工艺在权利要求书中公布了:1.一种Cell返工工艺,其特征在于,包括以下步骤:S1、将Cell置于丙酮原液中浸泡9~11分钟,去除所述Cell表面的油墨字体;S2、将上一步得到的所述Cell置于体积比为5%~15%的硝酸溶液中浸泡19~21分钟,去除Cell表面的镀锡层;S3、将上一步得到的所述Cell置于硫酸溶液中浸泡110~130分钟,去除所述Cell上封装用的白胶,所述硫酸溶液为硫酸与水按体积比7~9:1混合而成,所述硫酸的质量分数为98%;S4、将上一步得到的所述Cell浸入第一混合酸,去除上一步残余的白胶以及将所述Cell内的晶粒的棱角和毛刺腐蚀掉;S5、将上一步得到的所述Cell置于溢流池内溢流水洗30秒,去除第一混合酸;S6、将上一步得到的所述Cell置于温度为40~60℃的热水池内浸泡30秒,用于提升所述Cell的温度;S7、将上一步得到的所述Cell置于第二混合酸中浸泡50~70秒,以让所述Cell的晶粒表面生成二氧化硅;S8、将上一步得到的所述Cell置于溢流池内溢流水洗30秒,去除第二混合酸;S9、将上一步得到的所述Cell置于体积比为5%~10%的硝酸溶液中浸泡50~70秒,去除所述Cell的铜粒表面氧化层;S10、对上一步得到的所述Cell的铜粒表面进行10~20分钟的电镀锡,形成镀锡层;所述第一混合酸为硝酸、氢氟酸、冰醋酸和硫酸按体积比9:9:12~16:4混合而成的,所述硝酸的质量分数为70%,所述氢氟酸的质量分数为49%,所述冰醋酸的质量分数为99.7%,所述硫酸的质量分数为98%;所述第二混合酸为磷酸、双氧水和纯水按体积比1:1:2~4混合而成的,所述磷酸的质量分数为85%,所述双氧水的质量分数为35%。
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