恭喜上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利退火方法和退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115440631B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211216750.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权退火方法和退火装置是由康晓旭设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本退火方法和退火装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种退火方法以及应用所述退火方法的退火装置。所述退火方法包括通过所述主控部控制所述退火部提供退火介质并作用于所述第一区的一个子区后，再控制所述退火介质作用于所述第二区的一个子区，然后重复所述步骤S1直至所述退火介质对所述第一区和所述第二区完成退火处理，使得所述退火介质在不同区域往复作用，有效降低了热积累效应。
本发明授权退火方法和退火装置在权利要求书中公布了：1.一种退火装置，其特征在于，包括：承载部，用于承载待处理基片；相互通讯连接的主控部和退火部，所述退火部在所述主控部的控制下提供退火介质并控制所述退火介质作用于所述待处理基片的不同位置；与所述主控部通讯连接，并分别设置于所述退火部两侧且沿所述退火介质的扫描路径排列的至少2个温度探测部，所述温度探测部通讯连接所述主控部，以获取并向所述主控部反馈与所述待处理基片扫描区域相邻的待扫描区域的温度信息；设置于所述承载部并通讯连接所述主控部的移动控制部，所述主控部根据所述待扫描区域的温度信息判断是否需要通过对所述移动控制部进行电压控制来驱动所述移动控制部产生形变，以实现对所述退火介质作用强度的调节。
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