恭喜住友化学株式会社堀切文正获国家专利权
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龙图腾网恭喜住友化学株式会社申请的专利结构体的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080054520.4，技术领域涉及：H01L21/3063；该发明授权结构体的制造方法是由堀切文正;福原昇设计研发完成，并于2020-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本结构体的制造方法在说明书摘要公布了：结构体的制造方法具有如下工序：对至少表面由III族氮化物构成的构件的表面实施第一蚀刻的工序；以及，对实施了第一蚀刻的表面实施第二蚀刻的工序，在实施第一蚀刻的工序中，在表面形成因被蚀刻而新出现的平坦部和因与平坦部相比难以被蚀刻而产生的、相对于平坦部隆起的凸部，在实施第二蚀刻的工序中，通过蚀刻凸部而使凸部变低。
本发明授权结构体的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种结构体的制造方法，其具有如下工序：对至少表面由III族氮化物构成的构件的所述表面实施第一蚀刻的工序；以及对实施了所述第一蚀刻的所述表面实施第二蚀刻的工序，在实施所述第一蚀刻的工序中，在所述表面形成因被蚀刻而新出现的平坦部、以及因与所述平坦部相比难以被蚀刻而产生的相对于所述平坦部隆起的凸部，在实施所述第二蚀刻的工序中，通过蚀刻所述凸部而使所述凸部变低，所述第一蚀刻为光电化学蚀刻，所述第二蚀刻不是光电化学蚀刻，所述第二蚀刻中不对所述表面照射紫外光。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人住友化学株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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