恭喜重庆康佳光电科技有限公司张雪获国家专利权
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龙图腾网恭喜重庆康佳光电科技有限公司申请的专利微元件巨量转移装置及其方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113410157B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010183836.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权微元件巨量转移装置及其方法是由张雪;林子平;李刘中;安金鑫;肖守均设计研发完成,并于2020-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本微元件巨量转移装置及其方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体显示制造技术领域,其提供了一种微元件巨量转移装置及其方法,所述微元件巨量转移装置包括:第一传输装置、转移组件和第二传输装置;转移组件包括转移箱,转移箱包括微元件入口和微元件出口;转移组件还包括设置在转移箱内部的多条用于承载和传递微元件的传递组件,传递组件包括轨道和驱动轨道运转的驱动机构;第二传输装置用于将从转移箱的轨道上传输过来的微元件投放至对应的基板上。通过采用本发明实施例的微元件巨量转移装置高效地实现了Micro‑LED微元件的巨量转移,达到了提高Micro‑LED生成效率和良率的目的。
本发明授权微元件巨量转移装置及其方法在权利要求书中公布了:1.一种微元件巨量转移装置,其特征在于,包括:第一传输装置、转移组件和第二传输装置;所述转移组件设置在所述第一传输装置和所述第二传输装置之间;所述第一传输装置用于将生长基板上的微元件传送至所述转移组件;所述转移组件包括用于暂存所述微元件的转移箱,所述转移箱包括三组微元件入口和微元件出口,且三组所述微元件入口和微元件出口的形状分别与所述生长基板上生长的第一微元件、第二微元件、第三微元件的形状一一相对应;三组所述微元件入口均朝向所述第一传输装置开设,用于接收所述第一传输装置传输的所述第一微元件、所述第二微元件和所述第三微元件,三组所述微元件出口均朝向所述第二传输装置开设,用于将进入所述转移箱内的所述第一微元件、所述第二微元件和所述第三微元件传输至所述第二传输装置;每组所述微元件入口和所述微元件出口之间设有用于分别容置与传输所述第一微元件、所述第二微元件和所述第三微元件的传递组件;所述第二传输装置用于将从每组所述微元件出口传输出来的微元件投放至目的基板上。
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