恭喜宁德时代新能源科技股份有限公司陈伟鸿获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁德时代新能源科技股份有限公司申请的专利磁控溅射装置和磁控溅射设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222781674U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520136204.1,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型磁控溅射装置和磁控溅射设备是由陈伟鸿;陈金亮;苏孙杰设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射装置和磁控溅射设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种磁控溅射装置和磁控溅射设备,属于电池和磁控溅射技术领域。磁控溅射装置包括安装座、叶轮组件、连接组件和磁铁组件,叶轮组件与安装座可转动地连接,连接组件与叶轮组件的背离安装座的一侧连接。磁铁组件与连接组件的远离叶轮组件的一侧连接。安装座具有第一入口,叶轮组件罩设第一入口,叶轮组件具有第一出口。向第一入口注入流体的情况下,流体推动叶轮组件转动,流体从第一出口流出。磁控溅射装置可以实现带动磁铁组件转动,也可以对磁控溅射装置进行冷却处理,但磁控溅射装置中无需同时设置旋转组件和冷却组件,减少了磁控溅射装置的部件数量,减小磁控溅射装置的体积,磁控溅射装置的占用空间较少。
本实用新型磁控溅射装置和磁控溅射设备在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射装置,其特征在于,所述磁控溅射装置包括:安装座(10),具有第一入口(11);叶轮组件(20),与所述安装座(10)可转动地连接,所述叶轮组件(20)罩设所述第一入口(11),所述叶轮组件(20)具有第一出口(21);连接组件(30),与所述叶轮组件(20)的背离所述安装座(10)的一侧连接;磁铁组件(50),与所述连接组件(30)的远离所述叶轮组件(20)的一侧连接;其中,所述叶轮组件(20)被配置为用于,向所述第一入口(11)注入流体的情况下,所述流体推动所述叶轮组件(20)转动,所述流体从所述第一出口(21)流出。
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