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恭喜南京艾德恒信科技有限公司姬科举获国家专利权

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龙图腾网恭喜南京艾德恒信科技有限公司申请的专利一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222781678U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421673651.2,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置是由姬科举;马海翔;吴建铭;姬原鸣;王喜鹏;邓凯;刘静;沈国远设计研发完成,并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置,涉及高温真空环境模拟镀膜工艺的设备领域,包括主体框架和黏附组件,所述主体框架的顶部安装有真空镀膜室,所述真空镀膜室包括工作腔箱体、密封门、密封盖、活动轴和观察窗,所述真空镀膜室用于模拟镀膜工艺的工作场所;本实用新型通过采用立式四向载物的载物机构,在有限的镀膜空间内同时处理更多的待镀膜工件,提高了模拟镀膜工艺的工作效率,通过旋转架和旋转台的空间结构配合,确保了各载物板的均匀分布以及受力平衡,从而确保了模拟镀膜工艺中各工件受测的均匀性,采用橡胶凸点固定黏附组件与载物板,不仅简化了安装过程,还降低了生产成本。

本实用新型一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置在权利要求书中公布了:1.一种面向高温真空环境下模拟镀膜工艺的装置,包括主体框架1和黏附组件6,其特征在于:所述主体框架1的顶部安装有真空镀膜室2,所述真空镀膜室2包括工作腔箱体21、密封门22、密封盖23、活动轴24和观察窗25,所述真空镀膜室2用于模拟镀膜工艺的工作场所,所述主体框架1的表面安装有驱动组件3,所述驱动组件3包括工作腔底座31和驱动电机32,所述驱动电机32固定于主体框架1内腔的上端,所述驱动组件3用于对模拟镀膜工艺的旋转运动提供动力,所述主体框架1内腔的底部安装有真空组件4,所述真空组件4包括真空泵41、分子泵42和连接管43,所述真空组件4用于对工作腔箱体21的内腔提供真空环境,所述工作腔箱体21的内腔安装有载物机构5,所述载物机构5包括载物板51、旋转架52和旋转台53,所述载物板51包括支撑基板511、第二螺孔512和连接孔513,所述第二螺孔512和连接孔513均开设于支撑基板511的表面,所述旋转架52包括支架基板521、第三螺孔522和第四螺孔523,所述第三螺孔522开设于支架基板521的表面,所述第四螺孔523开设于支架基板521的两端,所述旋转台53包括立柱531、圆形台532、旋转盘533和第五螺孔534,所述立柱531的一端与圆形台532固定连接,所述圆形台532固定于旋转盘533的顶部,所述载物机构5用于承载工件,所述工作腔底座31固定于主体框架1的顶部,且与工作腔箱体21内腔连通,所述驱动电机32的输出轴贯穿至工作腔底座31的内腔并与旋转盘533传动连接,所述黏附组件6包括黏附板61、仿生黏柱62和橡胶凸点63,所述仿生黏柱62固定于黏附板61的一侧,所述仿生黏柱62固定于黏附板61的另一侧,所述黏附板61通过螺栓与载物板51连接,所述旋转架52与载物板51和旋转台53均通过螺栓螺纹连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京艾德恒信科技有限公司,其通讯地址为:210000 江苏省南京市溧水区永阳街道秦淮大道288号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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