恭喜上海良薇机电工程有限公司纪雪峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222785260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323510835.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统是由纪雪峰;何强军设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统，半导体尾气处理装置包括气体供应模块、纯度分析模块、回收模块、尾气处理模块和尾气排放模块。其优点在于，通过将纯度分析模块与气体供应模块连通并增加回收模块，可实时检测气体供应模块所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室。
本实用新型一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体尾气处理装置，其特征在于，包括：气体供应模块，所述气体供应模块与工艺气源连通，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；纯度分析模块，所述纯度分析模块与所述气体供应模块连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；回收模块，所述回收模块分别与所述气体供应模块、工艺腔室连通，用于在所述纯度分析模块所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；尾气处理模块，所述尾气处理模块与所述气体供应模块连通，用于在所述纯度分析模块所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行处理得到洁净尾气；尾气排放模块，所述尾气排放模块与所述尾气处理模块连通，用于将洁净尾气排出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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