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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种靶材的校平方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116516305B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310497276.4，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种靶材的校平方法是由姚力军;潘杰;宋阳阳;周鹏飞;吴东青设计研发完成，并于2023-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶材的校平方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种靶材的校平方法，所述校平方法包括如下步骤：15℃至30℃的条件下对靶材进行至少4次校平处理；所述至少4次校平处理时，后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域；所述至少4次校平处理时，校平区域的面积范围为靶材溅射面的25％至55％。本发明提供的校平方法在15℃至30℃的条件下进行，能够避免热校带来的脱焊风险，而且，本发明提供的校平方法的工艺简单，通过至少4次校平处理可将靶材的平面度控制在1mm以内，有利于工业化推广应用。

本发明授权一种靶材的校平方法在权利要求书中公布了：1.一种靶材的校平方法，其特征在于，所述靶材是指与背板钎焊焊接后的靶材，所述校平方法在15℃至30℃的条件下进行，具有如下步骤：（1）测量靶材的翘曲度，并确定靶材的校平区域，且所述校平区域的中轴线与靶材的中轴线重合；（2）对靶材的第一校平区域进行第一校平，第一校平的翘曲度为步骤（1）所测翘曲度的45%至55%，第一校平结束后进行保压25min至35min，靶材具有第一翘曲度；（3）对靶材的第二校平区域进行第二校平，第二校平的翘曲度为步骤（1）所测翘曲度的15%至25%，第二校平结束后进行保压25min至35min，靶材具有第二翘曲度；（4）对靶材的第三校平区域进行第三校平，第三校平的翘曲度为-0.1mm至0.1mm，第三校平结束后进行保压55min至65min，靶材具有第三翘曲度；（5）对靶材的第四校平区域进行第四校平，第四校平时的翘曲度为第四校平前翘曲度的负值，第四校平时的保压时间为55min至65min；重复步骤（5）所述第四校平，直至靶材的翘曲度≤1mm；步骤（2）所述第一校平区域的面积范围为靶材溅射面的25%至35%；步骤（3）所述第二校平区域的面积范围为靶材溅射面的35%至45%；步骤（4）所述第三校平区域的面积范围为靶材溅射面的45%至55%；步骤（5）所述第四校平区域的面积范围为靶材溅射面的45%至55%；步骤（4）所述第三校平区域与步骤（5）所述第四校平区域相同；所述校平处理时，后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域。

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