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龙图腾网恭喜无锡卓海科技股份有限公司申请的专利真空组装装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411372966.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权真空组装装置是由耿晓杨;相宇阳;孔彬设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空组装装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空组装装置，属于半导体设备技术领域。真空组装装置包括真空腔室、第一工作模块和第二工作模块，真空腔室内设有工作腔，工作腔内用于装配产品；第一工作模块设置于真空腔室上，第一工作模块用于夹紧产品的第一部件并沿第一方向和第二方向移动；第二工作模块设置于真空腔室上，第二工作模块用于夹紧产品的第二部件并沿第三方向移动，第一工作模块能够使第一部件靠近并压紧第二部件。本发明便于精密部件在真空环境中进行装配，保证精密部件内部的真空密封状态。

本发明授权真空组装装置在权利要求书中公布了：1.真空组装装置，其特征在于，包括：真空腔室1，内设有工作腔，所述工作腔内用于装配产品；第一工作模块，设置于所述真空腔室1上，所述第一工作模块用于夹紧所述产品的第一部件并沿第一方向和第二方向移动；第二工作模块，设置于所述真空腔室1上，所述第二工作模块用于夹紧所述产品的第二部件并沿第三方向移动，所述第一工作模块能够使所述第一部件靠近并压紧所述第二部件，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直；所述第一工作模块包括X移动单元2，所述X移动单元2与所述第二工作模块相对设置，所述X移动单元2包括第一驱动单元21、第一滑轨22和第一移动台23，所述第一滑轨22设置于所述真空腔室1内并沿所述第一方向延伸，所述第一移动台23滑动设置于所述第一滑轨22上，所述第一移动台23的一端与所述第一驱动单元21传动连接，所述第一驱动单元21用于带动所述第一移动台23沿所述第一方向移动；所述第一移动台23上设置有沿所述第二方向延伸的第二滑轨38，所述第二滑轨38上滑动设置有第二移动台37，所述第二移动台37的侧壁滑动设置有能够沿所述第一方向移动的滑块35；所述第二工作模块还包括Y移动单元3，所述Y移动单元3包括第二驱动单元31、第三滑轨32和第三移动台33，所述第三滑轨32设置于所述真空腔室1内并沿所述第二方向延伸，所述第三移动台33滑动设置于所述第三滑轨32上，所述第三移动台33的一端与所述第二驱动单元31传动连接，所述第三移动台33的另一端与所述滑块35固定连接，所述第二驱动单元31用于带动所述第三移动台33和所述第二移动台37沿所述第二方向移动。

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