天津环博科技有限责任公司靳立辉获国家专利权
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龙图腾网获悉天津环博科技有限责任公司申请的专利一种晶片寻参定心装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222813568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420806927.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶片寻参定心装置是由靳立辉;刘晓伟;张淳;高翔;丁天时;吕原杰;杜晨朋设计研发完成，并于2024-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片寻参定心装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶片寻参定心装置，用于半导体制造技术领域，该装置包括机架和底座、载台、定心机构、寻参机构和移动机构；载台和寻参机构分别与机架相连；定心机构通过移动机构设置于底座；移动机构包括依次相连的横移机构、升降机构和旋转机构；载台的晶片放置槽设置有孔洞和缺口，定心机构穿过孔洞；寻参机构包括寻参传感器、支架和驱动装置，其信号射向缺口并可在缺口内移动；定心机构和或晶片放置槽设有真空吸附机构。本实用新型结构设置合理，通过设置横移机构、升降机构和旋转机构使定心机构对准晶片中心，带动定片移动进行纠偏，操作简便，定位精准，对准效率高，可灵活适用于各种需要对晶片进行定心的工作场景。
本实用新型一种晶片寻参定心装置在权利要求书中公布了：1.一种晶片寻参定心装置，包括机架和底座，其特征在于；还包括载台、定心机构、寻参机构和移动机构；所述载台和所述寻参机构分别与所述机架相连；所述定心机构通过所述移动机构设置于所述底座，所述移动机构带动所述定心机构沿水平、竖直方向移动和围绕所述定心机构的轴心旋转；所述载台的晶片放置槽设置有孔洞，所述孔洞的构造可容纳所述定心机构穿过并在所述孔洞内移动；所述载台的晶片放置槽中心与所述定心机构位于初始位置时的轴心重合；所述晶片放置槽设置有缺口，所述寻参机构的信号射向所述缺口并可使所述信号在所述缺口内移动。
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