北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种位置误差识别与补偿装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421278580.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种位置误差识别与补偿装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种位置误差识别与补偿装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种位置误差识别与补偿装置，包括基座、分别固设于基座的下运动台和视觉系统，下载台滑动连接于下运动台，下载台设有下晶圆承载工位，下载台设有第一标识、第二标识、第三标识和第四标识，第一标识和第二标识沿第一方向间隔设于下载台的端部；第三标识和第四标识沿第一方向间隔设置且靠近下晶圆承载工位；视觉系统具有2个且沿第一方向间隔设置。本实用新型提供的一种位置误差识别与补偿装置，实现对下载台在装载位和对准位之间移动，前后两次在对准位的位置误差的检测，从而间接得到下晶圆的位姿变化量，对上晶圆的目标位置补偿提供依据，从而提高上晶圆和下晶圆的对准精度。
本实用新型一种位置误差识别与补偿装置在权利要求书中公布了：1.一种位置误差识别与补偿装置，其特征在于，包括：基座10；下运动台20，其固设于所述基座10，下载台210沿第二方向滑动连接于所述下运动台20，所述下载台210设有下晶圆承载工位，所述下载台210设有第一标识221、第二标识222、第三标识223和第四标识224，所述第一标识221和所述第二标识222沿第一方向间隔设于所述下载台210的端部；所述第三标识223和所述第四标识224沿第一方向间隔设置且靠近所述下晶圆承载工位；所述第一标识221、所述第二标识222、所述第三标识223和所述第四标识224之间具有预设相对位置关系；以及，视觉系统30，所述视觉系统30具有2个且沿所述第一方向间隔设于所述基座10上，分别用于识别所述第一标识221的第一位置信息和所述第二标识222的第二位置信息；其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。
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