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龙图腾网恭喜广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶片清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838797U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420863396.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶片清洗系统是由张庆;吴伟平设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶片清洗系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶片清洗系统，PLC控制系统根据第一距离传感器、第二距离传感器和第三距离传感器测量的位置值计算晶片平面度，从而实时监控晶片的平面度，有效防止晶片高速旋转飞出风险，PLC控制系统与顶部清洗杆和底部清洗管配合，能够对晶片双面进行快速离心清洗及离心干燥，有效防止了晶片倾斜飞出碎片，解决了晶片清洗过程中晶片高速离心双面清洗导致晶片倾斜，由于晶片不水平导致晶片甩出造成晶片碎片的技术问题。

本实用新型一种晶片清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种晶片清洗系统，其特征在于，包括晶片安装盘、晶片安装柱、旋转台、传感器支座、第一距离传感器、第二距离传感器、第三距离传感器、顶部清洗杆、清洗杆支座、底部清洗管和PLC控制系统；晶片安装柱为凸形柱，晶片安装柱的数量为多个，分别等间隔固定在晶片安装盘上；晶片安装盘安装在旋转台的顶部，晶片安装盘与旋转台活动连接；底部清洗管一端在竖直方向上贯穿旋转台并穿过晶片安装盘底部，底部清洗管另一端连接清洗液容器；顶部清洗杆为L状结构，顶部清洗杆安装在清洗杆支座上，顶部清洗杆的高度高于晶片安装柱，顶部清洗杆设置有喷嘴；传感器支座为L状结构，传感器支座的顶部横杆末端为3爪状末端，3爪末端呈120度间隔分布，3爪末端的中心点与晶片安装盘的中心点对齐，3爪末端的长度为晶片安装盘的半径；第一距离传感器、第二距离传感器和第三距离传感器分别活动安装在3爪末端上；PLC控制系统分别与旋转台、第一距离传感器、第二距离传感器、第三距离传感器、顶部清洗杆和底部清洗管连接。

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